产地：美国
型号：A4P-200
技术规格：
1. 面电阻量测范围： 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)
2. 样品尺寸：支持10mm至300mm wafer
3. 量测系统包括：Jandel RM3000测试单元
4. 测试精度：0.05% at 23℃
5. 温度可变范围：-100℃ ~ 200℃
6. 软件操作简单可以支持with Windows XP, Windows 7 或Windows 8操作系统，USB2.0 或USB3.0接口
7. 可选择量测晶圆上1, 5, 9, 25, 49, or 121个测试点或者自定义量测图
8. 可绘制2D和3D数据结果图
9. 输出电阻，电阻率和厚度等量测结果
10. 系统支持JANDEL探测头，插入式更换，操作简单
产地：韩国
型号：RMS-1000
技术规格：
1. 输入电流 Input current: 1nA ~ 20mA ( Easily check “Contact fail”);
2. 电阻率测量范围 Resistivity range: 10exp-4 ~ 10exp7 Ωcm;
3. 可测量阻抗(Ω)、表面电阻(Ω/sq)、电阻率(Ω.cm)等数据
4. 可得到I-V I-R曲线
5. 完整的仪器控制与数据分析软件
6. QPP探针：
Inter-pin distance 1.5mm, pin points 0.26R, spring pressure 70g/pin
7. 可选配温控模块：Temp: RT ~300 c° control，Accuracy: +/-0.1 c°.
