产地：美国
型号：MProbe;
通过光反射干涉的原理测量薄膜的厚度是一种快速、无损、精确、且可同时测量多层薄膜厚度的薄膜厚度测量技术。我司的该款光学薄膜测厚仪是一款价格低廉、功能强大的膜厚测量仪器。该产品的全球销量超过了200台。
根据型号不同，测量范围可以从1nm到1000um。该产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜；也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。
应用领域：
- 非晶多晶硅；
- 多孔硅；
- 硅晶圆薄膜；
- CMP;
- 电介质；
- 玻璃和塑料厚度；
- 硬质涂层厚度；
- IC故障分析；
- 铟锡氧化物与透明导电薄膜；
- 金属厚度测量；
- Oled；
- 光刻胶；
- 制程薄膜；
- 折射率，消光系数；
- 光伏太阳能电池；
- 卷式涂层；
- 半导体教学实验；
等等…
技术规格特点：
- 波长范围：200nm~1700nm；
- 膜厚范围：1nm~1mm；
- 光斑尺寸：3mm~3um；
- 精度：<0.01nm或0.01%；
- 准确度：<0.2%或1nm；
- 稳定性：<0.02nm或0.03%；
- 实时测量：厚度，吸收系数，折射率，粗糙度等；
- 开放的数据库：超过500种材料，新材料可添加；
- 灵活性：台式离线测量，原位测量，在线测量；
等等...
参考用户：
北京科技大学、上海交通大学、香港城市大学等.
