电子束蒸发镀膜机

型号：SEE-5, VS4；

电子束蒸发是真空蒸镀的一种，它是在钨丝热蒸发的基础上发展起来的技术。电子束蒸发镀膜机可以蒸发高熔点材料，比一般热蒸发镀膜机的热效率高、束流密度大、蒸发速度快，制备的薄膜纯度高、质量好，薄膜的厚度可以较准确地控制。

技术规格特点：

- 电子束源：四袋或六袋电子束枪；

- 电子束电源：6KW；

- 腔体：铝合金或不锈钢材料可供客户选择，不同尺寸的箱式腔室可选；

- 泵：分子泵，冷凝泵可选；

- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底；

- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制，使用GUI进行工艺控制、数据处理、远程支持；

- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；

- 衬底固定：单衬底固定，多衬底固定，行星式衬底固定，客户化衬底固定方式；

- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；

- 离子源：衬底预先清洗辅助沉积，纳米尺度表面修饰；

参考用户：

        广东工业大学、华中科技大学、厦门大学、兰州理工大学、深圳大学等.