上海载德半导体/宏腾微电子技术有限公司

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先进手动探针台

先进手动探针台
产品详情

产地:韩国Ecopia

型号:EPS-1000


EPS-1000为韩国Ecopia最高端的手动探针台型号,适合科研及半导体微电子器件的失效分析。


产品规格:

- 镀金真空样品吸盘:4", 6", 8" etc;

- 样品尺寸:5x5mm ~ 4", 6", 8" etc;

- 样品卡盘平整度:10um;

- 探针座精度:0.7um;

- 样品卡盘旋转(Phi):360度;

- 探针台台面快速升降;

- 探针锁位设计,防止回针;


可选附件:

- 显微镜X/Y移动;

- CCD视频镜头;

- 加热台;

- 黑箱、屏蔽箱;

- 防振平台;

- 高倍显微镜 (2000X);

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参考用户:

南京大学、中国科大、郑州大学、湖北大学、华中师范大学、四川大学、中国海洋大学、哈工大、东北电力大学中科院固体物理所、中科院宁波材料所等.


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