产地：德国尤尼坦；
型号：VPO-300，VPO-200；
VPO-300为德国Unitemp进口的高品质快速退火炉。台式设计，配备了人机界面，全自动控制，优异的温控均匀性和热处理重现性，适合科研、工艺开发和生产。
VPO-300适合12英寸晶圆或者300mm x 300mm尺寸的样品退火，适用于大尺寸太阳能电池片的快速退火。
VPO-300快速退火炉给12英寸晶圆退火，可以保证整片晶圆的温控均匀性≤ 1.5%！
技术规格：
- 最高温度：1000摄氏度；
- 升温速率：40摄氏度/秒；
- 降温速度：200摄氏度/分钟；
- 温控均匀性：≤ 1.5%设定温度；
- 加热方式：红外卤素灯，顶部及底部加热；
- 灯管数量及功率：48支/36千瓦；
- 腔体冷却：水冷方式；
- 衬底冷却：氮气吹扫；
- 工艺气路：MFC控制，最多3路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)；
- 主机尺寸及重量：505mm x 504mm x 830mm (W x D x H)，约100Kg；
仪器特点：
- 真空快速退火炉，有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa)；
- 可在不同气氛环境下使用，如惰性气体、氧气、氢氮混合气等；
- 控制方式：SIMATIC, SPS人机界面控制，7英寸触摸屏；
- 可存储50个程序，每个程序最多分为50段控制；
- 全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置；
- 优异的温控均匀性，极佳的工艺重现性；
- 台式设计，不占用太大空间；
应用领域：
- 离子注入/接触退火；
- 快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；
- SiAu, SiAl, SiMo合金化；
- 低介电材料；
- 晶体化，致密化；
- 太阳能电池片键合；
等等...
参考用户：
中科院上海技术物理研究所、中电13所、西安炬光等...
