上海载德半导体/宏腾微电子技术有限公司
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我们提供OPV或钙钛矿太阳能电池的完整工艺系统,也可协助用户进行进一步的工艺开发。
技术规格特点:
- 手套箱:2.5人;
- 衬底尺寸:最大200mm x 200mm;
- 手套箱内匀胶/旋涂;
- 紫外固化;
- 环氧树脂封装;
- 加热板;
- 太阳模拟器;
- 热蒸发镀膜机:3舟,工艺腔真空<=7x10-7Torr;
- 有机泻流室(effusion cell):3ea;
应用领域:
- 有机光伏;
- 钙钛矿太阳能电池;
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