上海载德半导体/宏腾微电子技术有限公司
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产地:韩国
我们提供OLED的完整工艺系统,也可协助用户进行进一步的工艺开发。
技术规格特点:
- 线性排列的Oled沉积系统;
- 多源沉积;
- 预处理腔:O2, CF4 等离子;
- 沉积腔#1:有机发光材料(Organic EL)沉积;
- 沉积腔#2:金属沉积;
- 手套箱;
- 封装:紫外固化;
- 衬底传输模块:使用磁性传输杆(MTR);
- 光刻;
- 厚度控制;
- 选配的衬底加热;
- 高电导真空泵;
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