河南大学PEALD验收

发表时间：2022-02-17 11:09

河南大学购买的Angstrom III双腔室原子层沉积系统，配置8路源。近日完成了仪器安装和用户培训。这台原子层沉积设备除了做常规的薄膜沉积外，还可以做粉末材料的包覆。该ALD各项指标达到了合同要求，目前已经完成设备验收。